描述
输入设备SB1、SB2、FR与PLC内部的“软继电器”X0、X1、X2的“线圈”对应，由输入设备控制相对应的“软继电器”的状态，即通过这些“软继电器”将外部输入设备状态变成PLC内部的状态，这类“软继电器”称为输入继电器；同理，输出设备KM与PLC内部的“软继电器”Y0对应，由“软继电器”Y0状态控制对应的输出设备KM的状态，即通过这些“软继电器”将PLC内部状态输出，以控制外部输出设备，这类“软继电器”称为输出继电器。
KLA-Tencor GSI Lumonics X-Y Scanner PCB CCA-10069 Pair
Pulizzi Z-Line KLA-Tencor Quantox Power Supply PC2425
KLA-Tencor Scintillator W/Ship container 780-08986-000
KLA-Tencor CRS1010 Optical PCB PWA E11-13209-7 Rev D
KLA-Tencor MO-76A Pulizzi Power Dist. Unit PC2425 Used
KLA-Tencor X-Y Scanner PWA PCB E11-13209-7 Rev D
KLA-Tencor CRS1010 Fast Z Controller 001000 PCB working
KLA-Tencor CRS1010 PMT Preamp PCB 000276 working
KLA-Tencor UV Mask Polarizer NNC AIT 0023725-000
KLA-Tencor CRS 2000 Mirror Assembly working
KLA-Tencor Transfer Arm Motor 400-08157-001 untested
