描述
利用定时器与计数器级联组合可以扩大延时时间，如图5-13所示。图中T4形成一个20s的自复位定时器，当X4接通后，T4线圈接通并开始延时，20s后T4常闭触点断开，T4定时器的线圈断开并复位，待下一次扫描时，T4常闭触点才闭合，T4定时器线圈又重新接通并开始延时。所以当X4接通后，T4每过20s其常开触点接通一次，为计数器输入一个脉冲信号，计数器C4计数一次，当C4计数100次时，其常开触点接通Y3线圈。可见从X4接通到Y3动作，延时时间为定时器定时值（20s）和计数器设定值（100）的乘积（2000s）。图中M8002为初始化脉冲，使C4复位。
AMAT 0010-75005 Centura load lock chamber
VARIAN PPM 992622, 87-195861, PCB, 40MHZ, DM992622-00
PORTER Liquid flow controller, P2000IBC010&P2000I-C020
LUMONICS EXTENDER BOARD 6050011 REV A
Swagelok 6LVV-DPVVR4-P-C, NEW in the box, lots of 8
STEC LF-310A, TEPO 0.25 g/min Liquid Flow Controller
STEC Liquid flow controller, LF-410A, TEOS, 4.0g/min
STEC LF-410A-EVD, TEB 2.0 g/min, TiCl4 2.0g/min , LFC
