描述
在线调试设备开停时，必须先调试空开关的运行情况；如果设备设有运行监视开关，则可把监视开关强制为”１”(正式运行时，撤销强制)。调试单台设备时可针对性地建立该设备的变量表，对该设备及其与该设备相关的变量进行实时监视。这样既可判断逻辑操作是否正确，对模拟量的变化也可一目了然。比如调试电动执行器时，可建立一变量表，对执行器的位置信号、限位信号、过力矩信号及输出命令信号等进行实时监视，便可非常直观地观测执行器的动作情况。
2 STEC MFC SEC-4400MC N2, WF6, used
AMAT 0020-25836 PVD Clamp Ring 8 inch, very clean
Smart Cap Key – JSR – 1860 – 35, 4A-9-8, Lot of 15
BODINE ELECTRIC 42A3FEPM-E4 GEARMOTOR, 130 VOLTS, CLEAN
MILLIPORE FC-2902MEP-T, SIH4, 1.5 SLMP NEW
3 Mass Flow Meter Tylan FM-360, Argon and Air, untested
STEC PV-2000 MFC Piezo valve PV-2103MC NEW in box
STEC MFC SEC-4550M, N2, 40 SLM used
IRVINE OPTICAL CORPORATION 136PC1562
CT AURAVISION 94V-0 E92481
Tylan General CMLA-21 100 TORR CAPACITANCE GAUGE
