描述
按传统功能划分，电气纳入DCS监控之后，其功能可分为数据采集(DAS)和顺序控制(SCS)两部分，由于电气量同热工量相比并没有特别的要求，而相对动作速度快、可靠性的控制功能通过保留的电气装置来实现，因此原则上对DCS的硬件无要求。对硬件的配置要求同热工一致，其功能分别融入DCS的功能之中。
在设计、调试、生产维护等各个环节中，这部分工作仍需电气人员来完成。加上在工程建设过程中电气有关厂用电受电部分需提前调试投入运行，在电气的控制功能部分即顺序控制(SCS)仍建议设置电气单独的控制器，便于实际工作的顺利进行。其数据采集部分要求同热工融为一体。
TEL ETCH RF generator rack and Turbo controller rack
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Quincy QRDT 20 HP Oil-less Air Compressor Model#QRDT-30
Edwards BOC iLs70 Dry Semiconductor Vacuum Pump
vacuum pump truck
Remanufactured Nash SC-7 Vacuum Pump Complete Skid
Edwards BOC iL70N Dry Semiconductor Vacuum Pump
Body for Nash 1256C liquid ring compressor, SS
Busch WV-1000 Reconditioned to O.E.M. Specs
1 Year Warranty Included
Busch RA0400 Vacuum Pump, Reconditioned to OEM specs.
1 Year Warranty Included
SIEMENS VACUUM PUMP, 20 HP, S/S
New Spencer turbine Vacuum
Knoll VRF 150/750 Vacuum Rotations Coolant Pump Filter
Varian Vacuum Ion Pump 912-7022
