AMAT 0090-07135
AMAT 0090-07135 是一款用于半导体制造的真空泵。它具有以下特点：
- 高抽速率
- 低噪音
- 低振动
- 长寿命
- 可靠性高
该产品适用于各种半导体制造工艺，包括：
- 晶圆清洗
- 刻蚀
- 沉积
- 薄膜沉积
- 封装
产品参数
| 参数 | 值 | 单位 |
|---|---|---|
| 抽速率 | 1200 | CFM |
| 极限真空度 | 10^{-9} | Torr |
| 噪音 | < 65 | dB(A) |
| 振动 | < 0.1 | g |
| 寿命 | > 40000 | 小时 |
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应用领域
AMAT 0090-07135 广泛应用于以下领域：
- 半导体制造
- 光电子器件制造
- 薄膜涂覆
- 科研机构
产品特点
- 采用涡轮分子泵技术，具有高抽速率、低噪音、低振动、长寿命等特点。
- 具有油气分离系统，可有效防止油雾污染真空腔。
- 具有自动控制系统，可实现自动运行和故障报警。
产品优势
- 高性能：AMAT 0090-07135 具有高抽速率、低噪音、低振动、长寿命等特点，可满足各种半导体制造工艺的要求。
- 可靠性高：AMAT 0090-07135 采用成熟的设计和制造工艺，具有很高的可靠性。
- 易于维护：AMAT 0090-07135 的结构简单，易于维护。
产品选型
AMAT 0090-07135 提供多种规格型号，可满足不同用户的需求。用户可根据实际应用需求选择合适的型号。
以下是一些选择产品时需要考虑的因素：
- 抽速率：用户需要根据真空腔的体积和工艺要求选择合适的抽速率。
- 极限真空度：用户需要根据工艺要求选择合适的极限真空度。
- 噪音：用户需要根据工作环境对噪音的要求选择合适的噪音水平。
- 振动：用户需要根据对振动敏感的设备选择合适的振动水平。
- 尺寸：用户需要根据安装空间选择合适的尺寸。
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