描述
高、中档的PLC，还开发有NC单元，或运动单元，可实现点位控制。运动单元还可实现曲线插补，可控制曲线运动。所以，若PLC配置了这种单元，则完全可以用NC的办法，进行数字量的控制。
新开发的运动单元，甚至还发行了NC技术的编程语言，为更好地用PLC进行数字控制提供了方便。
KLA-Tencor CRS-1010S Review Station DC Power Supply
KLA-Tencor AIT2 CPM Power Assembly 0218541-000
KLA Tencor 7700M I/O Memory Universal Handler 172502
KLA-Tencor Objective Mount Assy. 760-321062-001 working
KLA-Tencor V3 Objective Mount 760-062480-00 working
KLA-Tencor Upper Housing Assy. 781-21332-000 working
KLA-Tencor Lid Lift Leg Assy. 781-11759-000 working
KLA-Tencor CRS1010 Fast Z Controller PCB 001003
KLA-Tencor CRS1010 Fast Z Controller 001003T PCB
KLA-Tencor CRS1010 Fast Z Controller 001003 PCB working
