描述
开关量：按电压水平分，有220VAC、110VAC、24VDC，按隔离方式分，有继电器隔离和晶体管隔离。
模拟量：按信号类型分，有电流型（4-20mA,0-20mA）、电压型（0-10V,0-5V,-10-10V）等，按精度分，有12bit,14bit,16bit等。
除了上述通用IO外，还有特殊IO模块，如热电阻、热电偶、脉冲等模块。
按I/O点数确定模块规格及数量，I/O模块可多可少，但其最大数受CPU所能管理的基本配置的能力，即受最大的底板或机架槽数限制。
KLA-Tencor AIT UV Laser Servo Detector 0099586-001 New
KLA-Tencor AIT1 Tropel 11.25X Anamorphic Telescope
KLA-Tencor SP1 TBI Ellipsoid Collector 393541 New
KLA-Tencor AIT 2 Rear Collector Assy. 0032129-001
KLA-Tencor AIT 2 Video Switch Lot 525227 working
KLA-Tencor 3XX-I Refl. Light Detect.760-321399-000 Used
KLA-Tencor AIT 2 Timing Generator Assy. 379093 working
KLA-Tencor Ultrapoint PMT Preamp Assy. 000276 working
KLA Tencor 4 Channel Motor Control Assy 261408 REV A
