描述
微传感器的特征之一是体积小，其敏感元件的尺寸一般为微米级。是由微机械加工技术制作而成的，包括光刻、腐蚀、淀积、键合和封装等工艺。利用其中的各向异性腐蚀、牺牲层技术LIGA工艺，可以制造出层与层间有很大差别的三维微结构。包括可活动的膜片、悬臂梁、桥以及凹槽、孔隙、锥体等。这些微结构与特殊用途的薄膜和高性能的集成电路相结合，已成功地用于制造各种微传感器乃至多功能的敏感元件阵列(如光电探测器等)，实现了诸如压力、力、加速度、角速率、应力、应变、温度、流量、成像、磁场、湿度、PH值、气体成分、离子和分子浓度以及生物传感器等。
INDRAMAT MAC1120-2-HD-4-C/130-A-0/W-I520LX/S005 NSPP MA
INDRAMAT 2AD132B-B350B1-DS03-B2V1 USPP 2AD132BB350B1DS0
INDRAMAT 2AD132B-B350A1BS03D2N1 USPP 2AD132BB350A1BS0
INDRAMAT MAC112D-0ED-4-C/130-A-0/WI520LV/S005 USPP MAC1
INDRAMAT 2AD132C-350B1CS01/S007 USPP 2AD132C350B1CS01
INDRAMAT MAGNET MOTOR MAC112D-0-ED-4-C/130-1-0/W1511LV
MDD071B-N-030-N2T-095PB0 INDRAMAT
INDRAMAT SERVO MOTOR 2AD134D-B050A1-ES06-D2N1
INDRAMAT SERVO MDD112D-L-015-N2L-130PB0 MOTOR
INDRAMAT SERVO MDD112D-N-030-N2L-130PB0 MOTOR
INDRAMAT MAC112C-0-ED-2-C/130-A-0/S005 NSFP MAC112C0ED2
INDRAMAT TDM1.4-050-300-W1-000 NSFP TDM14050300W1000
