描述
又称移位寄存器指令，本指令带两个操作数，以通道为单位，第一个操作数为首通道号D1，第二个操作数为末通道号D2。所使用的继电器有：000CH~019CH,200CH~252CH,HR00~HR19。其功能相当于一个串行输入移位寄存器。
移位寄存器有数据输入端（IN）、移位时钟端（CP）及复位端（R），必须按照输入（IN）、时钟（CP）、复位（R）和SFT指令的顺序进行编程。当移位时钟由OFF→ON时，将（D1~D2）通道的内容，按照从低位到高位的顺序移动一位，最高位溢出丢失，最低位由输入数据填充。当复位端输入ON时，参与移位的所有通道数据均复位，即都为OFF。
如果需要多于16位的数据进行移位，可以将几个通道级连起来。
KLA-Tencor CRS1010 PMT Preamp PCB 000276 working
KLA-Tencor UV Mask Polarizer NNC AIT 0023725-000
KLA-Tencor CRS 2000 Mirror Assembly working
KLA-Tencor Transfer Arm Motor 400-08157-001 untested
KLA-Tencor X-Scanner Assy. 760-032324-00 untested
KLA-Tencor LV Detector Assy. 720-11440-000 untested
KLA-Tencor Yaskawa End Effector 0077427-002 untested
KLA-Tencor CRS1010 Laser Power Board 000327
KLA-Tencor CRS1010 Fast Z Controller 001003T PCB
KLA-Tencor CRS1010 Laser Power Board 0046591-000
KLA-Tencor CRS1010 Fast Z Controller PCB 001003
KLA-Tencor CRS1010 PMT Preamp PCB 000276
