描述
数据存储器它包括变量存储器（V），输入信号缓存区（输入映象存储器I），输出信号缓冲区（输出映象存储区Q），内部标志位存储器（M）又称内部辅助继电器，特殊标志位存储器（SM）。除特殊标志位外，其他部分都能以位、字节、和双字的格式自由读取或写入。
Varian 1000L/S Ion Vacuum Pump Leybold
Leybold Inficon Transpector XPR
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Trivac/Leybold D16E High Vacuum Pump
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