描述
微型机以SP系列为代表，其体积极小，速度极快。小型机有P型、H型、CPM1A系列、CPM2A系列、CPM2C、CQM1等。P型机现已被性价比更高的CPM1A系列所取代，CPM2A/2C、CQM1系列内置RS-232C接口和实时时钟，并具有软PID功能，CQM1H是CQM1的升级产品。中型机有C200H、C200HS、C200HX、C200HG、C200HE、CS1系列。C200H是前些年畅销的高性能中型机，配置齐全的I/O模块和高功能模块，具有较强的通信和网络功能
TEL Tokio Electron Clean Track 804 Robot
MECS UTC-800 wafer handler robot W/ UTC-100A controller
MECS UTC350R handler robot W/ UTC100A controller
STAUBLI RX60CR 865-0003-001 REV 01 ROBOT ARM RX60 CR
ECI TELECOM DTX-360 138002-2070
CYMER 112300 KSI DC5353 D 1101696
CYMER 115192
CYMER 123967 KSI RC REV R 1101697-1
VERTEQ 1800 SRD Tool 1800-6AL 1800-6AR
GENERAL ELECTRIC F-16 CONTROL AUGMENTER-FAN-TEMP
DIGITAL VISION BitPack-SD BP1000-SD ENCODING WORKSTATIO
GENERAL ELECTRIC F-16 CONTROL AUGMENTER-FAN-TEMP
VALLEY LAB RADIONICS RFG-3C RF LESION GENERATOR RFG3C
MECS UTC-800 wafer handler robot
MECS UTC-350R wafer handler robot UTC350R
HYPERMEDIA HYPERGATEWAY HG-2000-1 W/ 6 MODULES
