描述
使用继电器控制逻辑完成一项工程，其设计、施工、调试必须依次进行，周期长、而且修改困难。而用PLC完成一项控制工程，在系统设计完成后，现场施工和控制逻辑的设计可以同时进行，周期短，且调试和修改都很方便。
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Aerotech KLA-Tencor Aerotech DR 500 Controller 510432
KLA-Tencor AIT 2 Timing Generator Board 0053946-000
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KLA-Tencor SLX Objective Lens 760-334096-000 Untested
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