描述
随着计算机的快速发展和控制技术的不断提，使得机炉控制与电气控制日益显得不协调，控制水平也逐渐拉大。为了解决这一矛盾，的办法就是将电气纳入DCS控制之中，这样既利用DCS已成熟的分散控制技术，又能提电气控制水平。
电气控制纳入DCS以后，可充分利气用DCS的手段，使电气防误操作等功能实现更方便、更完备，并且将相关量的显示报警与电设备的控制调节有机地结合起来，提整个电气控制的性和可靠性。
Seiko Seiki STP-301CB1 Turbo Pump & SCU-21D controller
ADVANCED ENERGY RFG-1250 HALO
DPS II RF Source Matching Network (0190-15168)
ADVANCED ENERGY PDW 2200 AE PDW 2200 LAM 660-015516-014
COMDEL CPS1001S 13.56mhz RF GENERATOR P/N 0190-70099
COMDEL CLX-2500 RF GENERATOR
COMDEL CLX2500 RF GENERATOR PART # FP1335R4
ADVANCED ENERGY PDW 2200 AE 3156011 Lam 853-015516-002
COMDEL CX1250S RF POWER SUPPLY
COMDEL CPS-500AS RF POWER SOURCE AMAT P/N 0190-13320
AMAT PART # 0200-20060 INSULATING QUARTZ 6″ SMF PC11
THERMCO PCB ASSEMBLY PART # 110568-005 Z-80 PROCESSOR
NOVELLUS NICKEL SPINDLE SHAFT
AMAT PART # 0200-35145 ADAPTER WINDOW 2mm RP CHAMBER
