描述
新开发的运动单元，甚至还发行了NC技术的编程语言，为更好地用PLC进行数字控制提供了方便。
随着PLC技术的发展，其数据存储区越来越大。如德维森公司的PLC，其数据存储区（DM区）可达到9999个字。这样庞大的数据存储区，可以存储大量数据。
数据采集可以用计数器，累计记录采集到的脉冲数，并定时地转存到DM区中去。
数据采集也可用A/D单元，当模拟量转换成数字量后，再定时地转存到DM区中去。
PLC还可配置上小型打印机，定期把DM区的数据打出来。
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KLA-Tencor Quantox High Voltage Control Module 52-1081
KLA-Tencor 710-680279-00 Optics Interface Board New
KLA TENCOR FELL PROBE HEAD TYPE C 50-0002-03
KLA-Tencor HRP-340 Motor Interface Board 303737
KLA Tencor Flat Finder Handler ASSY. 174203 Rev D
KLA-Tencor GSI Lumonics X-Y Scanner PCB CCA-10069 Pair
Sony KLA-Tencor AIT 2 PowerHAD Camera DXC-950 363170
KLA TENCOR LAMP POWER SUPPLY CONTROLLER IGNITOR ORIEL
KLA Tencor Handler Motor 184128 Rev B & 134384
KLA-Tencor X-Y Scanner PWA PCB E11-13209-7 Rev D
GSI Lumonics KLA-Tencor Quantox Board CCA-10069
KLA-Tencor Ultrapointe 000678T rev 5
