描述
从可靠性和可维护性上看，由于电器控制系统使用了大量的机械触点，其存在机械磨损、电弧烧伤等，寿命短，系统的连线多，所以可靠性和可维护性较差。而PLC大量的开关动作由无触点的半导体电路来完成，其寿命长、可靠性高，PLC还具有自诊断功能，能查出自身的故障，随时显示给操作人员，并能动态地监视控制程序的执行情况，为现场调试和维护提供了方便。
KLA-Tencor 0035627-000-AC OMS , SHUTTER ASSY,AIT UV NEW
KLA-Tencor 760-031905-00 LENS ASSY ,
KLA-Tencor Patlight Controller Board 710-450885-00 NEW
KLA-Tencor Commtech RS-232 Board 232/8-ISA 00160502-000
KLA-Tencor CRS1010 TRT/OPT PCB 001009T working
KLA-Tencor CRS1010 Solenoid PCB 000678 working
KLA-Tencor TRT/OPT Control PCB 001009 working
KLA-Tencor CRS1010 A-Stop Control PCB 001002T working
KLA-Tencor CRS1010 Filter Wheel Drv. PCB 000674T
KLA-Tencor CRS1010 BF/DF Control PCB 000675T
KLA-Tencor CRS1010 Solenoid PCB 000678T working
KLA-Tencor CRS1010 A-Stop Control PCB 001002 working
