描述
如果控制对象的各重要控制环节，都用这样一些看门狗”看”着，那系统的工作将了如指掌，出现了问题，卡在什么环节上也很好查找。
还有其它一些监控工作可做。对一个复杂的控制系统，特别是自动控制系统，监控以至进一步能自诊断是非常必要的。它可减少系统的故障，出了故障也好查找，可提高累计平均无故障运行时间，降低故障修复时间，提高系统的可靠性。
KLA TENCOR CRS-1010S 200MM WAFR CONFOCAL REVIEW STATION
Wyko Veeco NT2000 Optical Profiler Zygo KLA Tencor
KLA-Tencor Prometrix FT-750 Film Thickness Measurement
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KLA-Tencor CRS 3000 300MM COMPLETE SYSTEM
KLA Tencor Ultrapointe Laser Imaging System LIS-1010
KLA Tencor Surfscan 4500
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Automated in-line film thickness mapping system w/ C2C
KLA-Tencor 2139 ECS Theta Z Assy. 740-695328-000 new
