描述
目前自动化控制在设备的升级或变动的弹性方面也相当受重视，当厂商改用具变通性的自动化功能来满足不断变动的客户需求时，希望能够推出模块化、具有弹性而且可扩展性的控制系统。虽然在νo用途上限制于数字及操作，PLC系统也具备扩展性，但是即使想要加入视觉、仪器管制或高速模拟功能，PAC系统仍然具有扩展性。多部PC可以通过以太网络连接，并依需求向上下扩展。而在换机时，工厂的工程师必须将关机时间限制在最低程度。当控制系统必须升级，或是要替换VO模块时，必须能够在最短的时间内更换或加入模块。PLC的模块化本质能够达到这个目的。
ATS M-PAK Tmp Control System Chiller MP40C-DI new
AMAT Part No: 0190-08467
Shimadzu Vacuum Turbopump TMP 2001-LME new
ASML DSX Stepper A1 Prime 8540138001 working
AMAT Endura PVD Lower Chamber 300mm 0010-22744
AMAT Endura PVD Lower Chamber 0010-22744 300mm
AMAT XR80 Implanter Wheel Assembly 200mm
SMC Thermo-Con TEL ACT 8 Temp Control CTINR-244-211T-45
TEL ACT 8 Chilling Hot Plate Process Station (CHP)
TEL ACT 8 or 12 Computer Module CT2980-415508-W1
ATS M-Pak MP40C-DI Temp. Control Chiller 0190-08467 new
ATS M-Pak Chiller System MP40B-GL new 0190-08471
Inficon Pfeiffer Transpector Test System CIS TS100
