描述
采用定时器T0产生一个周期可调节的连续脉冲。当X0常开触点闭合后,第一次扫描到T0常闭触点时,它是闭合的,于是T0线圈得电,经过1s的延时,T0常闭触点断开。T0常闭触点断开后的下一个扫描周期中,当扫描到T0常闭触点时,因它已断开,使T0线圈失电,T0常闭触点又随之恢复闭合。这样,在下一个扫描周期扫描到T0常闭触点时,又使T0线圈得电,重复以上动作,T0的常开触点连续闭合、断开,就产生了脉宽为一个扫描周期、脉冲周期为1s的连续脉冲。改变T0的设定值,就可改变脉冲周期。
MKS BARATRON 628B13TBE1B, 1000 TORR, CALABRATION SHEET.
MILLIPORE intelliFlow DEVICE NET, N2, 50 ,400, 200 SCCM
Motion Engineering SA-NOV controller lot’s of 2 used
STEC LF-310A, TEPO,0.25 g/min, liquid flow controller
AMAT 0010-0 09416 Etch Chamber RF Match, Untested used
Sieger Gas detection DIGI-CAT and DIGI-CHEM with sensor
Comdel, CPS-500AS RF Power source, AMAT 0190-13320
ENI VL-400 Phase shift controller
AMAT 0010-0 09416 Etch Chamber RF Match, Untested used