描述
不仅能进行一般的逻辑控制，种类齐全的接口模块还能进行中断控制、智能控制、过程控制、远程控制等。
用于过程控制的PLC往往对存储器容量及速度要求较高，为此，开发了高速模拟量输入模块，专用独立的PID控制器，多路转换器等，使得数字技术和模拟量技术在可编程序控制器中得到统一。采用软件、硬件相结合的方法，使得编程和接线都比过去用常规仪表控制要方便得多。
Edwards iQDP80 QMB250 Dry Vacuum Pump working
Edwards iQDP40 Dry Vacuum Pump QMB250 Blower as-is
Neslab DI Max DEI Water to Water Chiller
Nikon SPA236A Linear Motor Controller 4S586-947-2
Nikon SPA432B Linear Motor Controller 4S586-950-4
Nikon SPA432A Linear Motor Controller 4S586-949-4
SMC Thermo Chiller INR-497-032 working
AE RF Match Network 3155031-021A AMAT 0190-01402
AMAT Quantum Leap III Ion Source IHC 0040-50527
Thermo Neslab DI Max Water To Water Chiller 0190-06335
AE Navigator RF Match 3155169-001D 0190-15007 working
Kawasaki CCD Prealigner 3NS003S-C201 working 0190-17388
