描述
扩散硅压力传感器工作原理也是基于压阻效应，利用压阻效应原理，被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷)，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，利用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
Yokogawa TA320 100ps resolution 14MS/s time interval
OGP realtime autofocus P/N: 037081 Rev.C 37081
Zener VSC board D30-AV-12-6B
Opal SRA board EA70512530100 70512530100
Opal DVD board EA70512540100 70512540100
Anorad B800157 & B800153
YOKOGAWA YS170 S4 -011/A32/D11 programmable controller
Olympus LWD NeoSPlan 40 NIC IC40 0.60 ∞/0 f=180
KLA VAC 710-650094-20
Edwards control module iH1800 A590-40-945
Photon BeamScan 1180 control unit
HV# Hioki 3540 mini-ohm with 3540-03 Hitester
Force SYS68K CPU-30Lite
Wilden double diaphragm pump P1/SPPP/WF/WF/SWF 01-2685
Canon PIEZO-DRV GG0-3662
Canon PIEZO-DRV GG0-3661
Siemens 6ES7315-2AF02-0AB0 6ES7 315-2AF02-0AB0
Omron ZS-HLDC11 controller & ZS-LD80-F sensor
