描述
模块式的PLC是按功能分成若干模块，如CPU模块、输入模块、输出模块、电源模块等等。大型机的模块功能更单一一些，因而模块的种类也相对多些。这也可说是趋势。目前一些中型机，其模块的功能也趋于单一，种类也在增乡。如同样OMRON公司C20系列PLC，H机的CPU单元就含有电源，而Ha机则把电源分出，有单独的电源模块。
KLA Tencor HV1 Assy: 710-615461-001 KLA-F6-2KV CPLD
KLA Tencor 710-711567-00 Communication interface II
KLA Tencor 710-711754-00 Autofocus Board
KLA Tencor P/N 770-809195-000
KLA-TENCOR LON MOTOR DRIVER BOARD 00045 + 001024
KLA TENCOR IMAGE PROCESS BOARD,VME,710-806050-01 REV.D2
KLA Tencor X/Y Interface 710-720011-01 Rev B6
KLA Tencor Sensor Buffer Board 710-710199-01
KLA Tencor Cassette Controller Board 710-711879-01
KLA TENCOR LON MOTOR DRIVER BOARD 001050T REV A
KLA Tencor 710-710112-00 Mechanical Drive Board
