描述
高可靠性是电气控制设备的关键性能。PLC由于采用现代大规模集成电路集成电路是采用半导体制作工艺，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件，并按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。它在电路中用字母”IC”(也有用文字符号”N”等)表示。
ASTeX AX8200 AX8200A Ozone Generator
MKS ASTeX S-1500i: 1500 Watt Microwave Power Generator
MKS ASTeX ARX Microwave Control Module AMAT 0190-00398
0190-00398 CONTROLLER MICROWAVE ASTEX
MKS AX8500 Delivery System Astex Control Interface
ASTEX AX7610-11 Chemical Downstream Plasma Source
ASTEX CPS SMARTMATCH (SM) P/N FI10001 rev z
Lam P/N: 685-097949-001 rev. B
Astex Power Distribution AS06485
ETO HV CAPACITOR BANK ABX-X284 Astex MKS
ASTEX ATL-100RA MATCH ATL100RA 500W, 350KHz
Astex AX2050-3 Microwave Power Generator
