描述
控制规模主要指控制开关量的入、出点数及控制模拟量的模入、模出，或两者兼而有之（闭路系统）的路数。但主要以开关量计。模拟量的路数可折算成开关量的点，大致一路相当于8～16点。
依这个点数，PLC大致可分为微型机、小型机、中型机及大型机、超大型机。
微型机控制点仅几十点，如德维森公司的V80系列PLC本体从16点到40点，OMRON公司的CPM1A系列PLC，西门子的Logo仅10点。
KLA-Tencor CRS1010 Camera Filter Assy. 000056 000057
KLA-Tencor CRS1010 Camera Filter Assy 002032-3 SIEP10
KLA-Tencor CRS1010 Fast Z Controller 001003 PCB
KLA-Tencor CRS1010 ASYST 05551-001
KLA-Tencor CRS1010 PMT Preamp PCB 000276
KLA Tencor PN: 770-809195-000 Image Processor Board
KLA TENCOR IMAGE DATA STORAGE SYSTEM 710-612545-004/AA
KLA-Tencor GSI Lumonics X-Y Scanner PCB CCA-10069 Pair
KLA Tencor Camera Timer 710-714647-00
KLA Tencor Lamphouse Phase Metrics 038050103 Arc Lamp
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KLA Tencor PN: 710-806050-01 rev D2 CAMERA Board
KLA-Tencor Surfscan 6200 Wafer Surface Analysis System
