描述
对于小的系统，如80点以内的系统．一般不需要扩展；当系统较大时，就要扩展。不同公司的产品，对系统总点数及扩展模块的数量都有限制，当扩展仍不能满足要求时，可采用网络结构；同时，有些厂家产品的个别指令不支持扩展模块，因此，在进行软件编制时要注意。当采用温度等模拟模块时，各厂家也有一些规定，请看相关的技术手册。
KLA-TENCOR SFLEX2 MOTHER BOARD ASSY W/DAUGHTER BOARD ,
KLA-Tencor O/S Actuator Elevator 720-01488-003 Untested
KLA-Tencor CRS 2000 Optical Module 3008528 working
KLA-Tencor AIT 2 MMD Power Unit 0038216-001 working
KLA-Tencor HPR-340 U-Joint Board 454788 working
KLA-Tencor 200/300mm Platen Assy. 0082238-000 working
KLA-Tencor HRP-340 Motor Interface Board 303737 working
KLA-Tencor SLX Objective Mount 760-333005-000 Untested
KLA-Tencor M1 Mounted Assy, L7, NNC, AIT3 556556 New
KLA-Tencor Newport AIT2 Air Slit Assembly 393215 New
KLA-Tencor 2132 9KVA Power Line Conditioner 750-653120
KLA-Tencor SLX Reflected Light Assy 760-333022-000 Used
KLA-Tencor Comet Pneumatic Box 0104921-001 Untested
