描述
PLC的诊断功能包括硬件和软件的诊断。硬件诊断通过硬件的逻辑判断确定硬件的故障位置，软件诊断分内诊断和外诊断。通过软件对PLC内部的性能和功能进行诊断是内诊断，通过软件对PLC的CPU与外部输入输出等部件信息交换功能进行诊断是外诊断。PLC的诊断功能的强弱，直接影响对操作和维护人员技术能力的要求，并影响平均维修时间。
NOVA NOVASCAN 3000 CONTROL UNIT 315-4000-00 0500-00217
APPLIED MATERIALS (AMAT) PRE-ACCEL ASSY P/N 9090-00574
EDWARDS IBC DISPENSE MODULE P/N F33945100 REV 11
AMAT BOX, IBC DISPENSE BOX, ECP – SF3 0190-01599
DNS ROBOT, SK2000 2-39-82334 TS311-2008S
VARIAN VACUUM TURBO PUMP PFEIFFER TPH1001P E11080562
AMAT MEC ASSY DR300 f/Intel & R.O.W 0650-a0170
NOVA NOVASCAN 420 CONTROL UNIT – NEW
TEL (TOKYO ELECTRON) MB3M80-000978015 TRAP
APPLIED MATERIALS (AMAT) CHASSIS IHC DC DAQ QUANTUM 3
OERLIKON LEYBOLD PUMP, TURBO MAG W 1300 C 400110V0011
NOVELLUS SYSTEMS INC BELL JAR, SPEED 02-10387-01
AXCELIS 3-AXIS ROBOT 322703R 547932 REV D
