描述
控制功能包括PID控制运算、前馈补偿控制运算、比值控制运算等，应根据控制要求确定。PLC主要用于顺序逻辑控制，因此，大多数场合常采用单回路或多回路控制器解决模拟量的控制，有时也采用专用的智能输入输出单元完成所需的控制功能，提高PLC的处理速度和节省存储器容量。例如采用PID控制单元、高速计数器、带速度补偿的模拟单元、ASC码转换单元等。
Advanced Energy (AE) 3152194-008X Slave Generator
Advanced Energy Apex 3013 RF Plasma Generator 3kW AE
AE Advanced Energy APEX 3013 RF Generator AMAT Working
Advanced Energy Pinnacle DC Magnetron Power Supply AE
90 day warranty, 6 kW output, 208V input, M/N 2362-011
AE Advanced Energy RFX 2500 RF Generator 3155011-000
Advanced Energy 3151802-001 AE Rapid-O Toroidal Plasma
AE Advanced Energy AZX90 RF Match 3155031-011B AMAT
Advanced Energy RFX 1250 RF Generator 3155012-000-K AE
Advanced Energy AE RFG-1250 Vacuum RF Power Supply Rblt
