描述
如果控制对象的各重要控制环节，都用这样一些看门狗”看”着，那系统的工作将了如指掌，出现了问题，卡在什么环节上也很好查找。
还有其它一些监控工作可做。对一个复杂的控制系统，特别是自动控制系统，监控以至进一步能自诊断是非常必要的。它可减少系统的故障，出了故障也好查找，可提高累计平均无故障运行时间，降低故障修复时间，提高系统的可靠性。
Tokyo Electron TEL ACT 12 Chemical Cabinet Working
TEL ACT 8 SOG Coat Process Station Right Working
TEL ACT 8 SOG Coat Process Station Left Working
TEL ACT 12 Develop Side Bulk Fill Chemical Cabinet
TEL ACT 12 Coat & Adhesion Side Chemical Cabinet
TEL ACT 8 or 12 Computer Module CT2980-415508-W1
TEL ACT 12 Develop Side Bulk Fill Chemical Cabinet
TEL ACT 12 Coat & Adhesion Side Chemical Cabinet
Tokyo Electron TEL ACT 12 AC Power Box PB122-U300-02W
TEL ACT 8 Chilling Hot Plate Process Station (CHP)
TEL ACT 8 Interface Block Robotics Arm 200mm
