描述
产品概述
LAM 839-101612-885是一款由LAM Research Corporation生产的用于晶圆制造设备的电磁卡盘。该卡盘用于固定和旋转晶圆，使其能够进行蚀刻、沉积和其他工艺步骤。该卡盘以其高精度、高可靠性和高速度而著称。
产品规格
参数值
型号839-101612-885
晶圆尺寸8英寸
负载能力25公斤
旋转速度0-4000 rpm
加速度5 g
精度±5微米
可靠性MTBF>10,000小时
速度快速
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功能特点
高精度:该卡盘具有高精度，可确保晶圆的精确定位和旋转。
高可靠性:该卡盘采用高品质的元件和严格的质量控制流程制造，可确保其具有极高的可靠性。
高速度:该卡盘具有快速的速度，可满足高吞吐量应用的需求。
易用性:该卡盘具有直观的接口和易于使用的软件，可方便用户进行操作。
多种可选配置:该卡盘提供多种可选配置，可满足不同的应用需求。
应用领域
LAM 839-101612-885电磁卡盘通常应用于以下晶圆制造工艺：
蚀刻:用于去除晶圆上的多余材料。
沉积:用于在晶圆上沉积一层材料。
扩散:用于将掺杂剂扩散到晶圆中。
光刻:用于将图案转移到晶圆上。
清洗:用于清洁晶圆表面。
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