描述
大中型PLC系统应支持多种现场总线和标准通信协议（如TCP/IP），需要时应能与工厂管理网（TCP/IP）相连接。通信协议应符合ISO/IEEE通信标准，应是开放的通信网络。
PLC系统的通信接口应包括串行和并行通信接口（RS2232C/422A/423/485）、RIO通信口、工业以太网、常用DCS接口等；大中型PLC通信总线（含接口设备和电缆）应1：1冗余配置，通信总线应符合国际标准，通信距离应满足装置实际要求。
SEMITOOL 2601800 , 16750-505-0016
AMAT AFC 550, H2, 30 SLPM used
VERIFLO CORP GAS VALVE 45200254
APPLIED MATERIALS VALVE AIR ACTUATEO DIAPH
THERMOCOUPLE TYPE K 39 INCH VAC /39 INCH AIR KF40
PARKER VERIFLOW VALVE, 9444A0PLPN0SFSFF, 48200029
IN USA Ozone analyzer IN2000-L2RM, Used
AMAT 0140-09065 /chamber INTERFACE CABLE
AMAT 0226-09683 INTERFACE PUMP
MKS RGA Spectra Microvsion or HPQ2 + Vacuum Controller
RGA MKS Spectra Microvsion or HPQ2 & Vacuum Controlrer
HP 5328A UNIVERSAL COUNTER
