描述
系统调试可按离线调试与在线调试两阶段进行。其中离线调试主要是对程序的编制工作进行检查和调试，采用STEP7能对用户编制程序进行自动诊断处理，用户也可通过各种逻辑关系判断编制程序的正误。而在线调试是一个综合调试过程，包括程序本身、外围线路、外围设备以及所控设备等的调试。在线调试过程中，系统在监控状态下运行，可随时发现问题、随时解决问题，从而使系统逐步完善。因此，一般系统所存在的问题基本上可在此过程中得到解决。
UNIT UFC-1660 CL2 200 SCCM and O2 50 SCCM, lots of 2
UNIT UFC-1660 CL2 200 SCCM and O2 1 SLPM, lots of 2
MKS Baratron 627A01TBC, 1 TORR with connection valves
Granville Phillips 370149 Vacuum Gauge controller, used
USED Kollmorgen Magnet Driver AMAT 0190-70060
MKS MFC DPCA12T51CB00, AMAT 3030-10854, 50 sccm He
EDWARDS Active gauge D14549000
Tylan 2950 MFC FC-2952M 4V metal, Co, CHF4, lot’s of 2
SEMI GAS SYSTEM AUTOMATIC SWITCHOVER AND CYLINDER SCALE
