描述
模块式可编程控制器采用搭积木的方式组成系统，在一块基板上插上CPU、电源、Ｉ／Ｏ模块及特殊功能模块，构成一个总Ｉ／Ｏ点数很多的大规模综合控制系统。这种结构形式的特点是CPU为独立的模块,输入、输出也是独立模块。它的结构也是各种单元、CPU自成独立的模块，但安装不用基板，仅用电缆进行单元间联接，且各单元可以一层层地叠装。FX2系列PLC是单元式和模块式相结合的叠装式结构。
KLA Tencor 2131 2132 2552 Defect Wafer Inspection Sys
KLA-Tencor Surfscan 6200 Wafer Surface Analysis System
KLA TENCOR 2131 WAFER DEFECT INSPECTION SYSTEM
Wyko Veeco NT2000 Optical Profiler Zygo KLA Tencor
KLA-Tencor Prometrix FT-750 Film Thickness Measurement
KLA-Tencor Prometrix FT-750 Film Thickness Measurement
KLA-Tencor CRS 3000 300MM COMPLETE SYSTEM
KLA Tencor Ultrapointe Laser Imaging System LIS-1010
KLA Tencor Surfscan 4500
KLA-Tencor Prometrix FT-600 Film Thickness Measurement
Automated in-line film thickness mapping system w/ C2
