描述
使用时应注意的是除按图2进行接线外，还必须有对应的软件来配合，以实现Y000～Y003轮流导通；同时还要保证输入信号的宽度应大于Y000～Y003轮流导通一遍的时间，否则可能丢失输入信号。该方法的缺点是使输入信号的采样频率降低为原来的三分之一，而且输出点Y000～Y003不能再使用。
KLA-Tencor 2135 Vertical Illuminator 760-663761-001 new
KLA-Tencor 2135 to 2138 Upgrade Kit 780-696341-000
KLA-Tencor 2138 Motorized 200mm Retrofit 780-666008-000
KLA – Tencor eS35 IA Board PN: 0134014-002
KLA-TENCOR 0111816-000 MCP10-DPRC CARD MERCURY COMPUTER
KLA-Tencor NEAT CRS1010 200mm Wafer Stage Controller
KLA-Tencor SLX MAC Box Assy. 770-336660-001 untested
KLA-Tencor AIT1 Leica Microscope Turret Assembly
KLA-Tencor AIT Lens Module 0034691-000 working
