描述
系统调试应首先按控制要求将电源、外部电路与输入输出端子连接好，然后装载程序于PLC中，运行PLC进行调试。将PLC与现场设备连接。在正式调试前全面检查整个PLC控制系统，包括电源、接地线、设备连接线、I/O连线等。在保证整个硬件连接正确无误的情况下即可送电。
把PLC控制单元的工作方式设置为“RUN”开始运行。反复调试消除可能出现的各种问题。在调试过程中也可以根据实际需求对硬件作适当修改以配合软件的调试。应保持足够长的运行时间使问题充分暴露并加以纠正
KLA Tencor PZT controller 710-404582-00
Daihen KLA-Tencor HRP-340 Auto Tune Box CMC-10
KLA-Tencor 3XX-I Refl. Light Detect.760-321399-000 Used
KLA-Tencor SLX UCO, COL Assembly 760-333305-000 Used
KLA-Tencor Comet AMS Low Mag 0104920-003 Refurbished
KLA-Tencor 3XX-Blue Cas Replacement 780-372161-000 Used
KLA-Tencor Housekeeping Control 0075164-002 working
KLA-Tencor CRS1010 SDP Frame Grabber PCB 000483
KLA-Tencor HRP-340 Techsol Filter Unit 009-99FFU
KLA-Tencor SLX Reflected Light Assy 760-333022-000 Used
KLA-Tencor 5200 Dual Aperture Assy 720-470028-00 Used
