描述
系统有“手动”和“自动”两种工作方式。用X000来识别使用“自动”还是“手动”操作信号，“手动”时的输入信号为SB0～SB3，“自动”时的输入信号为S0～S3，如果按正常的设计思路，那么需要X000～X007一共8个输入点，若按图1的方法来设计，则只需X001～X004一共4个输入点。图中的二极管用来切断寄生电路。如果图中没有二极管，系统处于自动状态，SB0、SB1、S0闭合S1断开，这时电流从COM端子流出，经SB0、SB1、S0形成寄生回路流入X000端子，使输入位X002错误地变为ON。各开关串联了二极管后，切断了寄生回路，避免了错误的产生。但使用该方法应考虑输入信号强弱。
KLA-Tencor AIT 2 Upper Opto-Mech NNC 0024755-001
KLA-Tencor AIT 2 Rear Collector Assy. 0032129-000
KLA-Tencor AIT 2 Front Collector Assy. 0032131-001
KLA-Tencor AIT2 AIT3 Rear Collector Assy. 562556
KLA-Tencor ES4G Calibration Wafer Set
KLA-Tencor AIT 2 Measurement Head 0021726-001 working
KLA Tencor 2135 CMP Wafer Inspection Robot Loader Assy
KLA-Tencor AIT 2 Optics Module 0099610-000 untested
KLA-Tencor 2139 Software v5.3.49 Standard 0027325-000
KLA TENCOR DIGITAL DEFLECTION GENERATOR 701-603180-003
KLA – Tencor KIT , 190 ANALYZER FRU II 0145772-000
PRI KLA-Tencor Robot Track TRA035-LPS working
