描述
浮地方式、直接接地方式和电容接地三种方式。对PLC控制系统而言，它属高速低电平控制装置，应采用直接接地方式。由于信号电缆分布电容和输入装置滤波等的影响，装置之间的信号交换频率一般都低于1MHz，所以PLC控制系统接地线采用一点接地和串联一点接地方式。集中布置的PLC系统适于并联一点接地方式，各装置的柜体中心接地点以单独的接地线引向接地极。如果装置间距较大，应采用串联一点接地方式。用一根大截面铜母线（或绝缘电缆）连接各装置的柜体中心接地点，然后将接地母线直接连接接地极。接地线采用截面大于22mm2的铜导线，总母线使用截面大于60mm2的铜排。接地极的接地电阻小于2Ω，接地极最好埋在距建筑物10~15m远处(或与控制器间不大于50m)，而且PLC系统接地点必须与强电设备接地点相距10m以上
LAM 9600SE – Metal Etcher
Horiba PLCA-520 Particle Counter
JEOL JWS 7700
LAM 4420 – Polysilicon Etcher
ADE – 780 MRT – Digital Measurement System
TEL Act 8 SOD Track Photolithograph
Novellus C1-SN 95-09-962
Novellus C1-SN 89-11-062
Novellus C1-SN 96-47-2195
Novellus C1-Tungsten-Japan
APPLIED MATERIALS – P5000 CVD CHAMBER BODY
ASYST – WX-73 MAPPER ROBOT ASSY
BROOKS AUTOMATION – ROBOT
EBARA – A10S
