描述
如果控制对象的各重要控制环节，都用这样一些看门狗”看”着，那系统的工作将了如指掌，出现了问题，卡在什么环节上也很好查找。
还有其它一些监控工作可做。对一个复杂的控制系统，特别是自动控制系统，监控以至进一步能自诊断是非常必要的。它可减少系统的故障，出了故障也好查找，可提高累计平均无故障运行时间，降低故障修复时间，提高系统的可靠性。
AMAT DEPOSITION RING,8″ SNNF, ESC, 9MM, AL 0020-91578
AMAT HARNESS AMPULE REFILLABLE LEVEL SENSORS 0226-96762
VARIAN READER, BAR CODE BM35708
AMAT CLAMP RING 6″ JMF TI 2MM E/E 00402ARS 0020-28142
MILLIPORE CORP CONTROLLER, SERIAL PUMP GEN-2 WGEN22CN0
AMAT OMS OREGON MICRO PCB VS4 4 AXIS 0190-03503 VS4-040
NOVELLUS ASSY, ARM R LTM VCTR 02-157059-00
MKS INSTRUMENTS VALVE, EXHAUST THROTTLE 653B-13048
VARIAN DUMP, BEAM CHAMBER 110 DEG 6194100
AMAT ASSMBLY, DOUBLE PURGE, 1-1/8″ SURFACE M 0010-10891
AMAT KIT, 20 SCCM, STEC, MFC W HRDWR – UNIB 0242-30302
SEMITOOL CAROUSEL, FULL BOAT 2300 A192-80M-0215-PFA
