描述
底板、机架模块，它为PLC各模块的安装提供基板，并为模块间的联系提供总线。若干底板间的联系有的用接口模块，有的用总线接口。不同厂家或同一厂家但不同类型的PLC都不大相同。
箱体式的小型PLC的主箱体就是把上述几种模块集成在一个箱体内的，并依可能提供I/O点数的多少，划分为不同的规格。
箱体式的PLC还有I/O扩展箱体，它不含CPU，仅有电源及I/O单元的功能。扩展箱体也依I/O点数的多少划分有不同的规格。
APPLIED MATERIALS (AMAT) VACR ASSEMBLY P/N 0090-A1101
PREALIGNER, ISEL SMARTRACK ISEL ROBOTIK IPA-58-VKS3-1
AMAT TOOL KIT,MHS ALIGNMENT,ALTA 4000 8035-0655-000
TEL (TOKYO ELECTRON) MB3S10-351965-11 PLATE, QUARTZ
APPLIED MATERIALS (AMAT) COIL, IMP 300MM P/N 0040-03899
APPLIED MATERIALS (AMAT) BEARING ASSY P/N 0010-29038
APPLIED MATERIALS (AMAT)FOCUS TRANSDUCER ASSEMBLY,EXCAL
ULTRATECH ASSY, 300MM RETICLE FINGER 01-18-00954
TEL (TOKYO ELECTRON) CT2980-194837-11 MOTOR
