描述
当系统较大时，就要扩展。不同公司的产品，对系统总点数及扩展模块的数量都有限制，当扩展仍不能满足要求时，可采用网络结构；同时，有些厂家产品的个别指令不支持扩展模块，因此，在进行软件编制时要注意。当采用温度等模拟模块时
AMAT PORT,EXHAUST,PMS,WXS 0020-42039
TEL BOARD, LOAD PORT ADD ON TOB1007 CT2980-091450-11
TEL INSULATOR, LOWER (G1)OUT ES3D10-101007-12
AMAT UHP Pressure Regulator 3800-A0200
RICHMOND POWER SUPPLY, CONTROLLER A/B AB900-1/115
AMAT FLANGE CONNECTING 0020-96176
TEL INSULATOR, LOWER (G1)IN ES3D10-101004-13
AMAT Half Wafe Plate ASSY 0010-C0240
AMAT QUARTZ INSULATOR 0200-04378
EBARA NKE CONVERTER, D/A C-5500-028-0001 AYC-16A
TEL INSULATION, SHOWER 1 MB3M10-202737-12
