描述
PLC模块的输入端子一般采用汇点式接线方式，如图1所示；输出端子的接线一般根据负载不同分组，采用分割式或分组式接线方式，分组式接线方式如图2所示，分割式接线方式如图3所示。三菱FX2N-48MR的输出端子具体分了五个组，具体分法是：Y0-Y3，Y4-Y7，Y10-Y13，Y14-Y17，Y20-Y27，如果要将其中的不同组合成一组，则将其COM端短接即可。
Aera MFC TC FC-980C, BCL3,100 SCCM
Aera MFC, 10 RA FC-980C, SiH4, 20 SCCM
Aera MFC FC-770AC Ar 200 SCCM
Aera MFC FC-770AC, N2 200 SCCM
Aera MFC, TC FC-980 PH3/He 500 SCCM 800PPM
Mykrolis CDL1102, 0-10 TORR lots of 2
MKS BARATRON 122BA-00100EB, 100 TORR
MKS BARATRON 122BA-01000EB, 1000 TORR, 0-10 VDC OUTPUT
Pump baldor VM3541 3/4HP & pump Head, looks clean
