描述
PHEONIX TECH ECC1-1是一款由Phoenix Industrial Technologies LLC生产的静电吸盘控制器(Electrostatic Chuck Controller)。这种控制器在半导体制造过程中扮演着至关重要的角色,用于控制静电吸盘施加在晶圆上的力,确保晶圆在加工过程中保持稳定。
PHEONIX TECH ECC1-1
产品功能与特点
精确控制:ECC1-1能够精确控制施加在静电吸盘上的电压,从而实现对晶圆吸附力的精细调节。
兼容性强:该产品兼容多种型号的静电吸盘,可广泛应用于不同的半导体设备。
可靠性高:采用工业级设计,能够在恶劣的生产环境下稳定运行。
易于操作:提供直观的界面和操作方式,方便用户进行设置和维护。
应用场景
半导体制造:ECC1-1主要应用于半导体制造过程中,用于控制晶圆在沉积、刻蚀、离子注入等工艺过程中的吸附。
其他精密制造:除半导体制造外,ECC1-1还可应用于其他需要高精度定位和夹持的精密制造领域。
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