描述
PLC与电气回路的接口，是通过输入输出部分（I/O）完成的。I/O模块集成了PLC的I/O电路，其输入暂存器反映输入信号状态，输出点反映输出锁存器状态。输入模块将电信号变换成数字信号进入PLC系统，输出模块相反。I/O分为开关量输入（DI），开关量输出（DO），模拟量输入（AI），模拟量输出（AO）等模块。
Astex AX2050-3 Microwave Power Generator
Astex AX7610-5 Chemical Downstream Plasma Source
ASTEX TS90 0190-09246 WAVE GUIDE COUPLER REV. P3
Astex magnetron head (MH) P/N FI10002-R Rev 1M
Lam P/N 660-097960R001 Rev. B
Astex D12691 MKS Microwave Plasma Detector Power Supply
ASTeX D13449 3.5 kW Magnetron Head 2450 MHz AMAT 2006
ASTeX High Voltage Filter Bd. ABX-X494 AMAT 0190-01291
ASTEX HEAD,MAGNETRONCENTURA D13449
MKS Astex Ozone Controller
MKS Astex Power Distributor SA86306
