描述
CPU主要由运算器、控制器、寄存器及实现它们之间联系的数据、控制及状态总线构成，CPU单元还包括外围芯片、总线接口及有关电路。内存主要用于存储程序及数据，是PLC不可缺少的组成单元。
在使用者看来，不必要详细分析CPU的内部电路，但对各部分的工作机制还是应有足够的理解。CPU的控制器控制CPU工作，由它读取指令、解释指令及执行指令。但工作节奏由震荡信号控制。运算器用于进行数字或逻辑运算，在控制器指挥下工作。寄存器参与运算，并存储运算的中间结果，它也是在控制器指挥下工作。
CPU速度和内存容量是PLC的重要参数，它们决定着PLC的工作速度，IO数量及软件容量等，因此限制着控制规模。
ASTeX AX8200 AX8200A Ozone Generator
MKS ASTeX S-1500i: 1500 Watt Microwave Power Generator
MKS ASTeX ARX Microwave Control Module AMAT 0190-00398
0190-00398 CONTROLLER MICROWAVE ASTEX
MKS AX8500 Delivery System Astex Control Interface
ASTEX AX7610-11 Chemical Downstream Plasma Source
ASTEX CPS SMARTMATCH (SM) P/N FI10001 rev z
Lam P/N: 685-097949-001 rev. B
Astex Power Distribution AS06485
ETO HV CAPACITOR BANK ABX-X284 Astex MKS
ASTEX ATL-100RA MATCH ATL100RA 500W, 350KHz
