描述
PLC用户程序要实现的是：如何用输入继电器X0、X1、X2来控制输出继电器Y0。当控制要求复杂时，程序中还要采用PLC内部的其它类型的“软继电器”，如辅助继电器、定时器、计数器等，以达到控制要求。要注意的是，PLC等效电路中的继电器并不是实际的物理继电器，它实质上是存储器单元的状态。单元状态为“１”，相当于继电器接通；单元状态为“０”，则相当于继电器断开。因此，我们称这些继电器为“软继电器”。
Novellus 02-103960-00 Controller Platform P166/64
COMDEL CLX-1250 RF Generator 1.75-2.15 MHz
Novellus Match 02-282128-00, used
ACL C13170 1.25kW Microwave power source
Novellus System 02-321899-00 REV.A Module controller
MKS ENI GMW-50 RF Generator, untested
Novellus 02-103970-00 ASSY,MOD CONT,P166/64 controller
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested
ENI DPGS-10 DC Generator, AMAT 0190-36274, OEM BOX
7 STEC MFC SEC-4400M, O2, SiH4, Ar, BCl3, Cl2, used
