描述
PLC还有特殊的或称智能或称功能模块。如A/D（模入）模块、D/A（模出）模块、高速计数模块、位控模块、温度模块等等。这些模块有自己的CPU，可对信号作预处理或后处理，以简化PLC的CPU对复杂的程控制量的控制。智能模块的种类、特性也大不相同，性能好的PLC，这些模块种类多，性能也好。
通讯模块，它接人PLC后，可使PLC与计算机，或PLC与PLC进行通讯，有的还可实现与其它控制部件，如变频器、温控器通讯，或组成局部网络。通讯模块代表PLC的组网能力，代表着当今PLC性能的重要方面。
STEC MFC SEC-4400, Ar, 1 SLM WITH CALABRATION.
STEC MFC SEC-4400M NH3, 1 SLM, With CALABRATION SHEET
MKS BARATRON 628B13TBE1B, 1000 TORR, CALABRATION SHEET.
MILLIPORE intelliFlow DEVICE NET, N2, 50 ,400, 200 SCCM
Motion Engineering SA-NOV controller lot’s of 2 used
STEC LF-310A, TEPO,0.25 g/min, liquid flow controller
AMAT 0010-0 09416 Etch Chamber RF Match, Untested used
Sieger Gas detection DIGI-CAT and DIGI-CHEM with sensor
Comdel, CPS-500AS RF Power source, AMAT 0190-13320
ENI VL-400 Phase shift controller
AMAT 0010-0 09416 Etch Chamber RF Match, Untested used
